原子層沉積系統主要技術指標（臭氧）

光電材料與國家重點實驗室擬采購原子層沉積系統一套。主要技術指標：

 1、樣品臺為4英寸雙腔腔體，加熱溫度室溫至500℃可控，控制精度±1℃。 

2、4路液源，2路載氣輔助源。 

3、設備本底真空小于等于1 Pa，腔體漏率小于等于5×10 -10Pa·m3/s。 

4、5路金屬前驅體源輸送管路，加熱源3路，載氣輔助源2路，配備載氣管路和質量流量控制器。 

5、金屬前驅體源輸送管路均包裹在加熱套中， 很高加熱溫度250℃。配置溫度傳感器，溫度控制精度滿足±1℃。 

6、每路管路配備ALD專用閥門，帶吹掃功能，響應時間小于5ms，耐溫200℃，包定制加熱和保溫裝置， 很高加熱溫度200℃，溫度控制精度±1℃。 

7、每路加熱源輸送管路和載氣輔助源輸送系統，分別配備1個ALD專用閥門、1套加熱源容器以及加熱保溫系統。 很高加熱溫度250℃，溫度控制精度±1℃。 

8、所有氣體管路連接處采用金屬VCR密封；載氣管路采用N2或者Ar氣體，通過質量流量控制器控制；配備惰性氣體自清洗系統，可根據需求設置自動清洗的次數。 

9、采用電感耦合等離子體(ICP)發生器，電極與襯底距離不小于70 mm。 

10、提供 2 路可用于等離子體工藝氣路，包含 ALD 專用隔膜閥和流量控制器。 

11、采用13.56 MHz射頻電源，功率1%-可調，配備自動匹配器，匹配時間優于5秒。 

12、配備臭氧發生器、臭氧破壞器、控制臭氧的質量流量控制器；臭氧發生器產量 很高可達10 g/h，濃度可達100 g/m3；臭氧發生器采用風冷方式無需配備冷卻水； 

13、真空泵采用雙級油封式真空泵，抽速不低于90 m3/h；真空測量：配備壓力傳感器，檢測范圍：5×10-4~1000 mbar；真空抽氣管道可以烘烤至150℃，且真空泵前級配置熱阱，加熱溫度 很高300℃，控制精度±1℃； 

14、驗收指標：廠家須提供氧化鋁薄膜的標準工藝配方按以下內容進行現場制備與驗收；薄膜均勻性：在4英寸晶圓上沉積約50nm厚氧化鋁，以晶圓上5個均勻分散點（上、下、左、右、中心5點，每兩點間距不小于15毫米）進行橢偏儀測試膜厚，4英寸晶圓上薄膜均勻性≤±1%。 售后服務要求：3年質保期。對所提供的貨物在質保期內，因產品質量而導致的缺陷，必須免費提供包修、包換、包退服務。